微焦点X射线源(Microfocus X-ray source),简称MFX，是指焦点尺寸小于20微米的X射线源。

　　在X光检测设备中，从微焦点X射线源射出的X射线通过样品，之后由X射线平板探测器进行成像。由于X射线对于样品内不同结构、材料穿透能力的不同，其内部结构就可以被X射线平板探测器所采集并在电脑上呈现。

　　根据密封方式的不一样，微焦点X射线源分为开放管和封闭管两种。封闭管的微焦点X射线源中，阴极靶与阳极靶都封闭在真空管内;使用时无需抽真空，无需维护，但也无法更换阴极靶和阳极靶。开放管的微焦点X射线源则带有真空泵、真空阀，像排气设备一样。阴极靶和阳极靶都可以更换，需要定期进行更换维护。

　　相对于封闭管的微焦点X射线源，开放管的微焦点X射线源的焦点尺寸和FOD都普遍较小，但是需要维护且造价高昂。工业无损检测上目前均使用封闭管的微焦点X射线源，只有在对成像效果要求更苛刻的科研X射线成像中才会采用更加昂贵的开放管的微焦点X射线。